ASML回应与中芯买卖：EUV与DUV光刻技术一字之差大不相同

近日，中芯与ASML达到12亿美金买卖选购圆晶生产线设备的信息引起关心。对于彼此本次协作，有新闻媒体称“除开 EUV 光刻技术，中芯基本上能够购到别的全部型号规格的光刻技术。”可是这一叫法迅速被ASML官方网回应，该协议书与DUV光刻工艺的目前协议书有关。

很有可能许多网民见到这儿有点儿懵圈，这绕来绕去的到底是玩的哪些文字类游戏。这儿先开展一个小科谱，EUV和DUV究竟有啥差别呢？EUV也就是“极深紫外线”的含意，而DUV是“深紫外线”的含意，根据字面上就了解EUV看起来就比DUV高級，事实上也是这般。

ASML回应与中芯买卖关键点

一般来讲，DUV大部分只有保证25nm，Intel凭着双操作台的方式保证了10nm，可是却没法做到10nm下列。仅有EUV能达到10nm下列的晶圆制造，而且还能够向5nm、3nm再次拓宽。实际上EUV光刻技术的发生，的确是协助业内提升7nm工艺的一个重要。

当初并不是传说故事早已车翻的武汉弘芯曾经的我们也是国内唯一一台能够用以生产制造7nm芯片的EUV光刻技术嘛，但还没有开启就拉去金融机构抵押借款了。这一事情以前一度造成业内震惊，并做为大家饭后茶余的谈论话题广为流传迄今，不难看出7nm EUV光刻技术是多么的重要的存有。

ASML EUV光刻技术

好啦，返回主题。有关中芯和ASML彼此的申明，究竟该怎样看待呢？愚笨的我思索了大半天，大概了解为有人说的实际上是“除开EUV都能”和“只限目前DUV”的差别，乍看之下再想到到现阶段的现况这二者实际上没有什么差别，可是ASML的叫法更认真细致一些。

由于假如将来技术性更优秀了，又出去一个"FUV"光刻技术呢，那“除开EUV都能够”的叫法是存有系统漏洞的。或是ASML技术性暴发了，根据DUV技术性就保证了1nm先进工艺，因此 ASML十分认真细致的开设定了2个限定标准："该协议书与DUV光刻工艺的目前协议书有关。"

中芯购置的是DUV光刻技术

好啦，之上便是ASML回应中芯购买协议事情的讲解，您搞懂她们中间的差别了没有？