ASML EUV光刻技术更强了：塑料薄膜透光度首超90%

日前在首尔的一场半导体材料交流学习中，ASML韩销售经理MyoungKuy Lee表露，企业将逐渐供货透光度超90%的塑料薄膜，以提高EUV光刻技术的高效率。

据了解，这款塑料薄膜是ASML与Teradyne（泰瑞达）协同产品研发，日本三井化学代工生产，早已根据了400瓦检测。

ASML 2016年初次开发设计出光罩塑料薄膜，那时候的透光度是78%。接着在2018年，塑料薄膜透光度提高到80%，上年提高到85%。

塑料薄膜用以维护光罩免遭环境污染，价格2.六万美金上下（折合RMB16.78万余元）。

此外，韩国企业FST、S&S Tech也都是在焦虑不安开发设计EUV光刻技术需要的塑料薄膜，FST先前预估上半年度逐渐供货90%透光度的碳碳复合材料塑料薄膜。